近日,河南黄河旋风股份有限公司碳化硅切割专用金刚线锯研发取得突破,经多家客户使用,其产品性能已完全达到甚至超过日本同类产品水平,不论在切割效率、切割质量还是切割稳定性,均全面优于现有砂浆切割水平。
近年来,以氮化镓、碳化硅为代表的第三代半导体产业发展迅猛,国家高度重视,企业积极布局,整个行业呈现爆发式的增长势头。碳化硅材料作为第三代半导体之一,具有优异的性能,同时也具有难加工的特点,其超高的硬脆性特点导致加工难度大、风险高、效率低、良品率不高,尤以切割为难点。目前市场上主要以金刚石砂浆切割为主,切割速度慢,效率低,砂浆利用率低,成本居高不下,砂浆用微粉供应已达极限,固结金刚线替代砂浆切割已成必然趋势。
目前市场上能够稳定供应的碳化硅切割线仅有日本某企业,在美日等国对我国芯片行业打压的大背景下,碳化硅切割金刚线的国产化就特别迫切。然而碳化硅晶圆价值高,要求切割低风险、高质量,对金刚线的质量要求就极为严苛。