中科钢研高纯碳化硅项目及高端装备项目开工
12月18日,中科钢研高纯碳化硅粉和智能高端装备制造项目开工仪式在山东菏泽举行。
据悉,集中开工的两个项目采用国际一流标准,建设智能高端装备和高纯碳化硅粉新材料两个“总部+生产+研发”三合一项目,投资额均超过10亿元。早前披露信息显示,2018年开工总投资10亿元的山东莱西中科钢研半导体项目预计年内投产,全部达产可实现年产5万片4英寸碳化硅晶体衬底片、5000片4英寸高纯度半绝缘型碳化硅晶体衬底片。菏泽项目无疑是该项目原料就近供给的有力支撑。
中科钢研拥有先进的4/8英寸升华法碳化硅长晶炉,4英寸高温化学气相沉积法碳化硅生长技术,填补了国内空白,并具备了产业化应用条件。
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