金蒙新材料祝贺6英寸碳化硅单晶衬底研制成功
金蒙新材料公司从新材料在线行业网站获悉:近日,中科院物理研究所成功研制6英寸碳化硅单晶衬底。
众所周知,碳化硅单晶是一种宽禁带半导体材料,具有禁带宽度大,临界击穿场强大,热导率高,饱和漂移速度高等诸多特点,被广泛应用于制作高温、高频及大功率电子器件。此外,由于碳化硅和氮化镓的晶格失配小,碳化硅单晶是氮化镓基LED、肖特基二极管、MOSFET、IGBT、HEMT等器件的理想衬底材料。为降低器件成本,下游产业对碳化硅单晶衬底提出了大尺寸的要求,目前国际市场上已有6英寸(150毫米)产品,预计市场份额将逐年增大。
中国科学院物理研究所专家团队通过长期以来的摸索和实验,特别是通过不断的自主创新,获得了关于碳化硅单晶生长设备、晶体生长和加工技术等一整套自主知识产权。为将来此类产品的国产化大批量产打下坚实基础。
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