碳化硅作为一种常见的工业磨料，严格讲是一种半导体材料，其电学性质属杂质导电性，电阻率在10ˉ2～1012Ω·㎝之间。其导电性能随碳化硅晶体中引入杂质的种类和数量的不同而变化，碳化硅根据其含杂质不同，导电性能也不同。其中对碳化硅导电性影响最大的杂质是铝，氮和硼，含铝较多的碳化硅导电性显著增大。碳化硅的导电性随电场强度的增大而迅速提高，且具有非线性变化的特点。碳化硅的电阻率随温度的变化而改变，但在一定的温度范围内与金属的电阻温度特性刚好相反，高纯度碳化硅会随着温度的升高而电阻率下降。