欢迎光顾金蒙新材料官方网站!

金蒙新材料

金蒙新材料
国家高新技术企业
服务热线:
4001149319
碳化硅
当前位置:首页 » 金蒙资讯 » 金蒙新材料百科 » 碳化硅陶瓷反应连接技术

碳化硅陶瓷反应连接技术

文章出处:粉体圈网责任编辑:作者:小吉人气:-发表时间:2022-08-22 17:23:00【

全封闭、中空部件的制备一般采用连接工艺获得,目前常用的陶瓷连接方法主要有钎焊、扩散焊等,但这些方法均存在工艺复杂、焊接料性能同碳化硅基体差别大等缺点,难以满足光刻机等集成电路制造装备对复杂结构部件的使用要求。

根据反应烧结碳化硅的工艺特点,将待粘接零部件进行预处理,并通过粘接料对制品进行粘接,随后再进行反应烧结,使制品的连接与反应烧结同步完成。通过调节粘接料的组分、控制连接工艺,可实现复杂结构部件的致密、高强度、无缝隙粘接。

相关资讯