哈尔滨科友半导体6英寸碳化硅衬底正式投产
据粉体圈消息:8月18日,位于哈尔滨新区,投资10亿元建设的科友第三代半导体产学研聚集区项目一期正式投产,预计年底全部达产后可形成年产能10万片6英寸碳化硅衬底的生产能力。
据悉,哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司(科友半导体)成立于2018年,是一家专注于第三代半导体装备研发、衬底制造、器件设计、技术转移和科研成果转化的国家级高新技术企业。去年7月,科友半导体产学研聚集区项目正式开工建设。主要建设中俄第三代半导体研究院、中外联合技术创新中心、科友半导体衬底制备中心、科友半导体高端装备制造中心、国际孵化基地、科友半导体产品检验检测中心、人工宝石展览馆等项目。项目全部达产后,最终形成年产高导晶片近10万片,高纯半绝缘晶体1000公斤的产能;PVT-SIC晶体生长成套设备年产销200台套。
科友半导体研制的碳化硅感应长晶炉已实现99%的部件国产化替代,电阻式长晶炉也具备投产条件。在碳化硅晶体生长方面,科友半导体在6英寸碳化硅单晶厚度上突破32毫米,达到国内领先。同时,在长晶周期、生产成本、晶体良率等方面已经达到并保持国际同行业先进水平。按照企业发展规划,未来两年科友半导体将实现年产20万-30万片碳化硅衬底的产能,成为全球碳化硅衬底重要供应商之一。
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