晶盛机电成功研发出8英寸N型SiC晶体
8月12日消息,经过晶体实验室研发团队半年多的技术攻关,晶盛首颗8英寸N型SiC晶体成功出炉,标志着晶盛第三代半导体材料SiC研发自此迈入8英寸时代,同时这也是晶盛在宽禁带半导体领域取得的又一标志性成果。
据了解,此次研发成功的8英寸SiC晶体,晶坯厚度25mm,直径214mm,是晶盛在大尺寸SiC晶体研发上取得的重大突破。
在技术上,晶盛成功解决了8英寸晶体生长过程中多个难点问题,比如温场不均、晶体开裂、气相原料分布等等。
此外,还破解了SiC器件成本中衬底占比过高的难题,为大尺寸SiC衬底广泛应用打下基础。
SiC晶体生长和加工技术自主可控是抢占未来竞争制高点的关键。晶盛机电通过自主开发的设备、热场和工艺技术,不断延伸产品系列。
2017年,晶盛开始布局碳化硅业务。
2020年,建立长晶和加工中试线,SiC晶体直径也从最初的4英寸增大到如今的8英寸,进一步缩小国内外技术差距,保障我国碳化硅产业在关键核心技术上的自主可控。
而此次8英寸SiC导电单晶研制成功,也极大地提升了晶盛在SiC单晶衬底行业的国际竞争力。
据悉,晶盛机电创建于2006年12月,目前已组建原料合成+长晶+切磨抛的中试产线,,并完成6-8英寸长晶热场和设备开发,产出6英寸衬底,在总厚度变化率(TTV)可稳定达到<3μm。
据悉,晶盛机电携碳化硅衬底晶片生产项目落户宁夏。该项目总投资50亿元,该项目分两期建设,将建设约7.5万平方米厂房及辅助设施,主要生产6英寸及以上导电型和半绝缘型碳化硅衬底晶片。一期预计3月开工建设,投资总额33.6亿元,一期建成达产后预计年产6英寸碳化硅晶片40万片,年营业收入24亿元。
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