碳化硅的反应烧结法最早在美国研究成功。反应烧结的工艺过程为：先将α-SIC粉和石墨粉按比例混匀，经干压、挤压或注浆等方法制成多孔坯体。在高温下与液态硅接触，坯体中的碳与渗入的硅反应，生产β-SIC，并与α-SIC相结合，过量的硅填充与气孔，从而得到无孔致密的反应烧结体。反应烧结碳化硅通常含有8%的游离硅。因此，为保证渗硅的完全，素坯应具有足够的孔隙度。一般通过调整最初混合料中α-SIC和碳的含量，α-SIC的粒度级配，碳的形状和粒度以及成型压力等手段来获得适当的素坯密度。

　　实验表明，采用无压烧结、热压烧结、热等静压烧结和反应烧结的碳化硅陶瓷具有各异的性能特点。如就烧结密度和抗弯强度来说，热压烧结和热等静压烧结碳化硅陶瓷相对较多，反应烧结碳化硅相对降低。另一方面，碳化硅陶瓷的力学性能还随烧结添加剂的不同而不同。无压烧结、热压烧结和反应烧结碳化硅陶瓷对强酸、强碱具有良好的抵抗力，单反应烧结碳化硅陶瓷对HF等超强酸的抗蚀性较差。就耐高温性能比较来看，当温度低于900℃时，几乎所有碳化硅陶瓷强度均有所提高;当温度超过1400℃时，反应烧结碳化硅陶瓷抗弯强度急剧下降。对于无压烧结和热等静压烧结的碳化硅陶瓷，其耐高温性能主要受添加剂种类的影响。