有研究表明，SiC陶瓷样品的密度与热导率随YF3的加入显示先增后减的变化，当加入5%的YF3时，密度与热导率均达到最大。YF3作为烧结助剂可以提高SiC陶瓷的致密度和热导率主要是由于YF3可以与SiO2反应生成第二相，同时达到除氧的目的，净化SiC的晶格。而生成的液相也可以促进烧结的进行，降低烧结温度。

密度与热导率出现先增后减的变化，原因可能有如下两点:

第一，添加适量烧结助剂形成的液相可以使陶瓷致密化程度提高。YF3添加量过少，不足以形成足够的液相，而过量的YF3又会产生过多液相，粘度增加，均不利于碳化硅陶瓷的致密化。

第二，YF3中的Y元素可以和SiC表面SiO2中的O元素相结合生成氧化物，并分布于晶界内。当YF3含量较低时，没有足够多的YF3与SiO2进行作用，使得SiC晶粒中仍存在SiO2杂质。而过量的YF3会导致烧结反应生成的气体大量挥发，使致密度下降。